ムーアの法則
インテル社の共同創業者によるムーアの法則:「マイクロプロセッサの複雑さは24ヶ月ごとに倍増する」――1965年。
2ナノメートル以下のマイクロプロセッサチップの製造において世界を独占するASMT社の装置は、その複雑さと非現実性において、まるで眼科医がコンピューター制御の斧で白内障手術を行うようなものだ。
紫外線リソグラフィー印刷を実現し、装置の精度と完璧な動作を保証するためには、ほとんど非現実的な一連の工程が必要となる。光学、冶金、力学、精密工学、そして粒子化学の極限まで駆使した、並外れた予防措置と準備なしには、これらの手順はほぼ不可能に近い。
それはまるで、レオナルド・ダ・ヴィンチに完璧な水中彫刻を作らせるために斧を与えるようなものだった。
この場合、問題は技術だけではありません。技術もいずれは時代遅れになるものです。例えば、最大10頭の馬に引かれて動かなくなった駅馬車や、発射のたびに修理が必要だったナチスの巨大な大砲、飛行時間よりも飛行準備に多くの時間を費やすF-35イーグルステルス戦闘機などが挙げられます。
レーザー光線は、レーザー砲の発射周波数に同期して噴射される溶融水銀の液滴一つ一つを捉える必要があります。そして、レーザーが命中した液滴から紫外線が二次的に放出されます。この紫外線を、プリント基板の描画用に準備された数ナノメートル厚のプレートに集光する必要があります。ウェハーへのレーザー照射ごとに、溶融水銀の飛沫を捕捉するミラーを洗浄する必要があります。これには、極低温ヘリウムガスのジェット噴射が必要です。
では、より優れた代替技術が存在しない現状において、この技術は複雑さの点で急速に時代遅れになる前に、どれくらいの期間、主流であり続けることができるのでしょうか?
この機械は洗練されたものではなく、単なる力任せのものです。まるで古代エジプト帝国第二期の人が、巨大な鷲を使って月まで飛ぼうとしたかのようです。当時、彼には飛行を夢見るための唯一の手段がそれしかなかったのです。紫外線リソグラフィーは、まだ初期段階にあるナノテクノロジーの開発なしには、無責任で可能性が限られたものになりかねません。
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